首页
保健品
药品
批号
网上药店
企业
药材
疾病
资讯
保健食品
保健食品
企业
搜索
首页
保健品
企业
资讯
首页
学术文献
磁控溅射法在有机衬底上制备SnO2掺Sb透明导电膜
磁控溅射法在有机衬底上制备SnO2掺Sb透明导电膜
来源:
《半导体技术》
作者:
杨田林;杨光德;高绪团;万云芳
摘要:
采用射频磁控溅射法在有机柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,讨论了薄膜的结构和光电性质对制备条件的依赖关系.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了氧化锡的金红石结构.对衬底适当地加热,当衬底温度为200℃时,在PI(聚酰亚胺)胶片上制备出了性能良好的薄膜,薄膜相应自由载流子霍耳迁移率的最大值为1 3.9cm2/V@s,载流子浓度为15.5×1019cm-3,薄膜电阻率的最小值为3.7×103Ω@cm.在可见光范围内,样品的相对透过率为85%左右.
关键词:
磁控溅射法 , 制备 , SNO2 , Sb透明导电膜
下载全文
相关文献
有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究
常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究。制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构。性能良好的薄膜电阻率为6.5×10^-3Ω·cm,载流子浓度为1....
有机衬底SnO2掺Sb透明导电膜的制备
采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,讨论了薄膜的结构和光电性质对制备条件的依赖关系.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.对衬底适当的加热,当衬底温度为200℃时,在PI(Polyis...
反应磁控溅射法制备的氮掺杂TiO2光催化膜的氮化学态和光催化活性
采用中频交流磁控溅射法,以O2/N2混和气为反应气体,在铝片上沉积了氮掺杂TiO2膜.利用原子力显微镜、紫外-可见光谱、X射线衍射和X射线光电子能谱等手段研究了掺杂膜的表面形貌、光吸收性能、物相组成以及膜样品中氮的化学态,并通过苯甲酰...
HDTMA^+柱撑蒙脱石层间有机离子的排布模式及演化
蕉岭长潭省级自然保护区表土有机碳研究
武功山草甸区植被小群落下土壤活性有机碳和总有机碳的分布及关系
阴=阳离子有机膨润土吸附水中苯胺,苯酚的性能
有机硼酸酯润滑油减摩抗磨添加剂
氧瓶燃烧—高效液相色谱法测定药物中有机碘含量
有机锗与鲨肝醇对苯中毒小鼠升白细胞作用的比较研究